超純水初是美國科技界為了研制超純材料應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，電阻率接近于18.3MΩ*cm。超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。當前，在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。